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[矿泉水] ASML DUV光刻机有多快？加速度高达7g、12秒完成一整片晶圆 [复制链接]
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xfeiyun

我是水神不是大神

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发表于 2021-8-21 14:38:19 IP属地江西 |只看该作者 |倒序浏览

ASML DUV光刻机有多快？加速度高达7g、12秒完成一整片晶圆
2021-08-21 07:35:59 出处：快科技

作为芯片生产过程中最关键装备的光刻机，有着极高的技术壁垒，有“半导体工业皇冠上的明珠”之称，代表着人类文明的智慧结晶。

在在芯片这样一个争分夺秒的行业里，时间就是金钱。

据ASML官方介绍，ASML也一直在追求光刻机极致的速度，目前最先进的DUV光刻机，每小时可以完成300片晶圆的光刻生产。

这是一个什么概念呢？

我们来换算一下，完成一整片晶圆只需要12秒，这还得扣除掉晶圆交换和定位的时间，实际光刻时间要更短。

而一片晶圆的光刻过程，需要在晶圆上近100个不同的位置成像电路图案，所以完成1个影像单元（Field）的曝光成像也就约0.1秒。

要实现这个成像速度，晶圆平台在以高达7g的加速度高速移动。7g加速度是什么概念呢？F1赛车从0到100km/h加速约需要2.5秒，而晶圆平台的7g的加速度，若从0加速到100km/h只要约0.4秒。

DUV是深紫外线（Deep Ultraviolet Lithography），EUV是极深紫外线（Extreme Ultraviolet Lithography）。

从制程工艺来看，DUV只能用于生产7nm及以上制程芯片。而只有EUV能满足7nm晶圆制造，并且还可以向5nm、3nm继续延伸。

- THE END -

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aqyh aqyh 当前离线积分 1256 最后登录 2024-1-28 精华 0 阅读权限 0 主题 45 UID 4805881 帖子 2465 PB币 1446 威望 45 贡献 0 技术 0 活跃 527 发消息头像被屏蔽 UID 4805881 帖子 2465 PB币 1446 贡献 0 技术 0 活跃 527 串个门加好友打招呼发消息	沙发发表于 2021-8-21 16:57:36 IP属地江苏 \|只看该作者提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽

xfeiyun

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发表于 2021-8-21 17:36:33 IP属地江西 |只看该作者

aqyh 发表于 2021-8-21 16:57
光刻机原来是芯片生产过程中最关键的装备啊，我还以为是刻录光盘用的呢

此光刻机非彼光刻机

aqyh aqyh 当前离线积分 1256 最后登录 2024-1-28 精华 0 阅读权限 0 主题 45 UID 4805881 帖子 2465 PB币 1446 威望 45 贡献 0 技术 0 活跃 527 发消息头像被屏蔽 UID 4805881 帖子 2465 PB币 1446 贡献 0 技术 0 活跃 527 串个门加好友打招呼发消息	4^F 发表于 2021-8-21 18:59:28 IP属地江苏 \|只看该作者提示: 作者被禁止或删除内容自动屏蔽